DTU Nanolab Denemarken vervangt 291 FFU's in cleanroom

Eindgebruiker: DTU Nanolab Denemarken - Nationaal centrum voor nanofabricage en -karakterisering
Industrie: Halfgeleider

DTU Nanolab is het nationale centrum voor nanofabricage en -karakterisering in Denemarken en is eigendom van en gevestigd aan de Technische Universiteit van Denemarken (DTU) in Lyngby, ten noorden van Kopenhagen. DTU Nanolab beheert en onderhoudt geavanceerde verwerkingsapparatuur in 1.350 m2, klasse 10-100, ISO 9001-gecertificeerde, open toegang, pay-per-use cleanroomfaciliteiten.

Als onderzoeksinfrastructuur ondersteunt DTU onderzoek en ontwikkeling binnen geavanceerde karakterisatie- en fabricagetechnologieën. Om expertise van wereldklasse te garanderen voert het instituut onderzoek uit op het gebied van fabricage- en karakterisatietechnologieën in het DTU Nanolab. Hun faculteit van ongeveer 15 professoren en onderzoekers bestrijkt een breed scala aan technologieën en methoden. Het primaire doel van hun onderzoek is om de stand van de techniek binnen geselecteerde technologieën te verbeteren om zo nieuwe toepassingen en apparaten mogelijk te maken. Voor meer informatie:  https://www.nanolab.dtu.dk/english 

Zoals bijna alle faciliteiten van dit type heeft het DTU Nanolab te kampen met hoge energiekosten voor het gebruik van hun cleanrooms. De infrastructuur van de ventilatorfilterunits, de HEPA-filters die in de units worden gebruikt en de besturing van het complete systeem zijn geïdentificeerd als een belangrijke hoeksteen om energiebesparingen te realiseren. De ventilator-filterunits die momenteel in gebruik zijn, zijn deels 15 jaar in gebruik en op het gebied van energie-efficiëntie, systeemintegriteit en geluidsniveau niet state-of-the-art. Op basis van AAF's sterke imago binnen de halfgeleiderindustrie en lange staat van dienst met duizenden installaties van FFU's en energiezuinige ePTFE HEPA-filters, stelde AAF een overtuigende oplossing voor - met duurzaam succes.

De AstroFan FFU module bestaat uit een aluminium behuizing met daarin een hoogwaardige ingekapselde AAF geoptimaliseerde direct aangedreven achterovergebogen EC ventilator/motor combinatie en een vervangbaar AAF HEPA of ULPA filter. De gehele behuizing is eenvoudig te ontsmetten en bestand tegen ontsmettingsmiddelen. De behuizing sluit af en rust op de geanodiseerde aluminium extrusies van het AAF HEPA of ULPA filter.

Hoogst presterende ULPA-filtertechnologie voor micro-elektronicaBij de productie van micro-elektronica is de zuiverheid van lucht en product essentieel voor een goede dopering van halfgeleiders. Net als deeltjes kunnen bepaalde elementen de elektrische eigenschappen van geïntegreerde schakelingen negatief beïnvloeden, wat de opbrengst beïnvloedt. Traditionele borosilicaatglasmedia zijn een potentiële bron van boorverontreiniging, zelfs met "low-boron" glasmedia. Fosfor kan worden aangetroffen in vlamvertragers van bepaalde polyurethaan afdichtmiddelen die worden gebruikt om het mediapakket aan het filterframe te bevestigen. Daarom is MEGAcel II ME gemaakt en getest zonder boor en fosfor. Al meer dan 20 jaar is MEGAcel II ME de gouden standaard voor minienvironment behuizingen voor filtratiesystemen voor halfgeleiders.

Zeer efficiënte HEPA/ULPA FFU met modulair ontwerp

• Verkrijgbaar in 7 standaardmaten
• Lichtgewicht aluminium behuizing
•  Laag geluidsniveau
•  Geschikt voor alle ISO cleanroomklassen
•  Geschikt voor turbulente en laminaire stroming
•  Geschikt voor een groot aantal AAF HEPA- en ULPA-filters
•  Verkrijgbaar met EC RS-485, 0-10 Volt en MODBUS RTU besturingsinterface
•  Meer informatie over de FFU

Volledig geïntegreerde besturingssystemen tot en met de afzonderlijke FFU

Naast luchtfilters en niet-aangedreven toevoerbehuizingen vereisen bepaalde toepassingen ook een eenheidsspecifieke regeling van de snelheid en consistentie van de luchtstroom in grootschalige productieruimten. Ventilator-filterunits, vooral in combinatie met robuuste elektronische regelsystemen, helpen de integriteit van de productieprocessen in deze toepassingen te garanderen en zorgen voor een maximale systeemzuinigheid.

MEGAcel^® II ME membraan filters

• Biedt ultrahoog rendement met de laagste drukval
• Hoge weerstand tegen corrosieve omgevingen (zuren, alkaliën en organische stoffen)
• Laagste offgassingseigenschappen beschikbaar
• Media met hoge treksterkte, beter bestand tegen ruwe behandeling tijdens transport en installatie
• Voldoet aan I300I specificaties en is UL 900 en ULC S111 geclassificeerd
• Meer informatie over de MEGAcel II ME

291 ventilator-filterunits (FFU's) zijn in mei 2022 vervangen. De nieuwe FFU's zijn stiller dan de bestaande FFU's en besparen 122.000 kWh/jaar, wat overeenkomt met ca. 268.000 kr./jaar.